三星電子副會長李在鎔10月訪歐,拜會全球唯一極紫外光(EUV)微影設備供應商艾司摩爾(ASML)執行長Peter Wennink等人後,韓媒報導Wennink上周也赴韓參訪三星電子,卻未參訪另一大客戶台積電。台灣艾司摩爾指出,ASML高層每年都有拜訪亞洲客戶行程,本來也包括台積電,但疫情來台須隔離14天,Peter Wennink被迫取消台灣行。
綜合媒體報導,Peter Wennink等ASML高層上周拜訪三星電子,討論EUV微影設備的供應與合作案,而目前ASML對台積電供貨量高於三星,外界認為三星有意投資高數值孔徑(High-Na)EUV 設備開發案,以搶先在台積電之前取得次世代EUV 設備;而ASML預計於2023年中推出設備原型,在此之前ASML也需要大量資金研發這項設備。
至於ASML目前最大客戶、三星半導體的主要競爭對手台積電,從7奈米世代(7nm EUV)開始導入EUV設備,今年第2季量產5奈米製程更全面採用EUV設備;而過去ASML高層每年都會訪問台韓等亞洲客戶,今年卻首度僅訪問韓國三星、SK海力士等客戶,並未拜訪台積電。
對此,台灣艾司摩爾解釋,這關鍵在於韓國已鬆綁商務人士入境免14天隔離,台灣則受限於防疫仍保持14天隔離政策,對於ASML高層而言較不方便,因此建議他們取消台灣行程。