台積電認為，其A16技術未必要用到艾司摩爾的高數值孔徑極紫外光曝光機（High NA EUV）。（圖／翻攝自台積電官網）
台積電業務開發資深副總經理張曉強14日表示，台積電的A16技術製程節點不一定需要用到艾司摩爾（ASML）高數值孔徑極紫外光曝光機（High-NA EUV）。
路透社報導，張曉強今天在荷蘭阿姆斯特丹的研討會表示，A16廠的設計可能容納High-NA EUV，但這並非確定。
台積電是艾司摩爾一般極紫外光曝光機的最大客戶。
今天稍早，台積電歐洲子公司總經理狄波特（Paul de Bot）也在荷蘭舉行的研討會上透露，台積電設於德國的歐洲首座廠擬於2024年第4季開始動工。
狄波特在研討會上表示，建廠作業正著手進行中。「全力爭取台積電設第3廠！」日本熊本知事：打造「類竹科」半導體聚落更多文章
台積電去年8月同意投資35億歐元（約新台幣1222億元），在德國設立該公司首座歐洲廠。
責任編輯/周岐原
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