台積電於6月技術論壇時，指出3年1000億美元投資案已啟動，目前以5倍速度加速擴產；劉德音日前股東會更總結，台積電處於高速擴張期，包括5奈米晶圓廠擴建、3奈米晶圓廠興建、2奈米晶圓廠規劃等等，3奈米預計明年下半量產，若加上2023年3奈米第二波擴產，打入3奈米以下供應鏈商，將坐收毛利大幅攀升、獲利爆發成長的果實。
本土受惠供應商包括中砂、辛耘、帆宣、京鼎、鈦昇、漢唐、瑞耘、公準、萬潤、聖暉、和椿、翔名、弘塑、信紘科、閎康、崇越、志聖等。
以鑽石碟（Daimond disc）打入台積電先進製程供應商中砂指出，台積電3奈米擴產對未來是利多，但同時也要持續擴充產能，才能支應客戶需求。樹林廠上半年已擴產10%，下半年擴產20%，隨著3奈米明年下半進入量產，會持續擴產。
中砂發言人李偉彰表示，由於產線機台是自己組裝，也無需海外訂貨、等待交期，擴產計畫只需半年的前置期；真正考驗的是缺工，直接員工不好找，也因此中砂祭出舊員工介紹獎金，希望能從既有員工推薦下，讓有意願加入者，可在充分了解公司文化和工作性質下，才能穩定長期的待下，此方案實施後，頗具成效。
法人預估，短期看來，中砂因鑽石碟產能增加，且應用於3奈米的鑽石碟於第三季開始貢獻營收，再生晶圓部分，因產能增加10%達30萬片 以及部分調漲價格10%，第三季優於第二季。
長期看來，中砂在3奈米的產品單價更優於現有的20%，當台積電3奈米月產能從6萬片達到10萬片時，對中砂營收貢獻翻倍。法人指出，隨著台積電新產能客戶持續開出，加上中砂在3奈米和2奈米強勢市占率，單月營收將持續創高，鑽石碟業務毛利與獲利持續上揚。
辛耘則是打入台積電先進封裝設備供應鏈，隨著台積電先進製程擴充，新進製程封裝也跟著成長；同時設備代理業務也將受惠。辛耘因代理設備業務挹注，7月營收達4.57億元，創歷史新高，預期第三季會比第二季好，下半年會比上半年好。
中砂和辛耘都有再生晶圓業務，然而再生晶圓產能要擴充不易，受惠程度有限。
中長期看來，不只先進製程，成熟製程（12/16奈米）以上的擴充，對整個本土供應鏈都有直接挹注，一旦先進製程認證通過後，業績穩定向上。
台積電持續擴張5奈米和3奈米，兩者皆大量導入EUV曝光機，每片晶圓採用EUV光照層大幅拉升，對EUV光罩盒供應商家登來說，拉貨動能源源不絕，短期看來，由於台積電5奈米年底拉升至12萬片，加上英特爾、三星皆先後導入EUV技術，今年EUV光罩盒出貨可望年增率翻倍；至於3奈米將在明年下半量產，以及後年第二波擴產，更是帶來EUV供應鏈下一個爆發週期。
廠務系統供應商信紘科則是受惠於主要客戶包括竹科晶圓廠、南科先進製程廠的建置及擴充等進入設備裝機階段，加上穩定拆移機工程服務的需求，1至7月合併營收達新台幣9.13億元，年增 14.70％，上半年每股盈餘1.41元、年增25%，目前信紘科已接單未認列的在手工程案量創歷史新高水位。
台新投顧副總黃文清表示，台積電持續往先進製程擴產，設備和耗材廠商是直接受惠；然而先進製程設備及耗材比較大部分還是由美日等外商拔得頭籌，台積電為了要降低耗材成本增加，外國採購，台積電很願意投入心力扶植本土供應商，同時降低對國外供應商的依賴，將持續擴大本土營運成長模式。
