自經濟部於9月初鬆綁12吋晶圓廠獨資登陸後，台積電於7日宣布向投審會遞件申請，將在中國南京斥資30億美元（約982億台幣）設立12吋晶圓廠，經濟部投審會執行秘書張銘斌同日證實已收到申請案，將待工業局彙整相關單位意見後，邀請產官學界代表，召開關鍵技術小組審查會議，最後投審會委員會以共識決方式討論，估計2個月內完成審查作業。
因應中國半導體市場日漸成熟，台積電的主要競爭對手英特爾、三星分別在大連、西安設立12吋晶圓廠，且皆已投入生產，經濟部為了讓台廠有更大的彈性運作空間，於8月宣布鬆綁12吋晶圓廠可獨資登陸，並於9月4日正式公告實施。
相隔3個月後，台積電於12月7日宣布向投審會遞件申請，將在中國南京的浦口經濟開發區斥資30億美元（約982億台幣）設立12吋晶圓廠與設計服務中心，並鎖定16奈米製程，預計2018年下半年開始生產，月產量可達2萬片12吋晶圓。
根據《中央廣播電台》報導，張銘斌表示，工業局在收到所有資料後，將彙整各單位的意見後，並召開關鍵技術小組審查會議，邀請產官學界代表討論，最後投審會的委員會將以共識決的方式討論，預估2個月內會有答案。
張銘斌說，審查的關鍵重點在於「製程技術台灣是否有一個世代的領先、在國內的相對投資、整個技術專利權的保護、台灣員工的部分是否有相關的安排，這些要素都會在關鍵技術小組去做討論。」
