林本堅帶領團隊在半年內發表了3篇論文，一一回應了反對方質疑的技術難題。同時，林本堅還跑遍美國、日本、荷蘭與德國，與業界開展了深入溝通，林本堅說他從張忠謀身上學到的重要一課是溝通。他的努力終於有了回報，阿斯麥發現，林本堅是對的，於是與台積電開展了合作。最終，台積電和阿斯麥於2004年共同研發成功全球第一台浸潤式微影機。林本堅後來曾說：「原本一個美國大廠的代表說他們絕不用這技術，結果一個（半導體制程）世代後，他們也用了。」後來，張忠謀曾評價，「如果沒有林本堅及其團隊，台積電的微影不會有今天的規模。」
林本堅的故事讓我們看到，潛心鑽研、矢志探索的專業技術人才，是企業發展的法寶。浸潤式微影技術的發展，大大促進了台積電和光刻巨頭阿斯麥的發展，也為後來阿斯麥全面超越日本企業埋下了伏筆。阿斯麥執行長彼得·韋尼克（Peter Wennink）在接受採訪時曾說，「有了浸潤式微影技術，才會有iPhone，確實如此。」
＊作者謝志峰為芯盟科技有限公司總經理，復旦大學微電子學院兼職教授。取得美國倫斯勒理工學院半導體物理專業博士後，曾就職於美國 Intel，並獲得Intel至高成就獎，並擁有十二項美國發明專利。共同作者陳大明為中國科學院上海科技查新咨詢中心副主任，中國科學院副研究館員，主要從事產業戰略研究，獲上海市科技情報成果獎。本文選自作者新著《一本書看懂晶片產業：給未來科技人的入門指南》（早安財經）。本系列結束。
