我請專家為我解說EUV光刻機的構造和原理，光聽就覺得規模大到令人聞之生畏，技術更是艱難得超乎想像。
以光源系統為例，必須每秒照射5萬次融化的錫滴，讓錫滴落到真空容器中，再以雷射光轟擊融化後的錫滴產生極紫外光光束。由於極紫外光幾乎很容易被吸收，所以光束通過的機台內部必須完全真空。
在層層相叠的薄膜製成的特殊鏡面上，利用光線經過數次反射來調整倍率，最後照射在半導體晶圓上進行光刻。因為採用的是極大的玻璃鏡片，所以整台機器就變成照片上的巨大設備。
艾司摩爾是電機製造大廠，原本屬於飛利浦旗下一家合資的荷蘭企業。但光靠荷蘭的技術不足以製造出設備，因此需要擁有專業光學技術，由以製造相機鏡頭聞名的德國光學技術業者蔡司（Zeiss）公司生產鏡面，雷射產生器則是由德商創浦（TRUMPF）製造。
歐盟也加碼挹注補助款。與其說艾司摩爾是荷蘭企業，不如說這是由整個歐洲在背後支援的企業。
技術力背後的情報機構
同時，我們也必須關注艾司摩爾與比利時研究開發機構「比利時微電子研究中心」（Interuniversity Microelectronics Centre，簡稱IMEC）的關係。IMEC屬於研發奈米等級的微電子、資訊及通訊技術的非營利組織，匯聚全球近2000位研究人員及工程師，其中有6～7成是從約50個國家的企業派遣來的外國人。
企業以會員身分被邀請加入IMEC，將資金和人才送去參加共同研究項目。日本主要的半導體企業也不例外，以各種形式與IMEC合作，常駐比利時總部魯汶的日本人約有40、50人。
「把人員送到這裡的目的，不光為了研究開發，同時也是為了獲得情報。如果不和IMEC保持良好關係，就無法知道最先進的技術動向。因為這裡就像聚集技術人員的俱樂部，雖然成員中也有競爭對手，但基本上是可以自由高談闊論交流的氣氛。」
曾是日本最大設備製造商東京威力科創的會長東哲郎，對於企業和IMEC的關係，做了上述表示。其他各國企業，想必也是基於相同的考量吧？IMEC是開放式創新（open innovation）研究的中心，不僅匯聚了資金和人才，更有來自全球製造現場的最新消息。
荷蘭的艾司摩爾背後有IMEC的支持。這兩家公司都屬於荷蘭語系，地理距離也很相近。透過IMEC，艾司摩爾可以輕易的取得生產面的最新動態，知道「世界各國的製造廠正在為什麼而苦惱？又在尋找什麼解決對策？」這也是為什麼艾司摩爾能夠有優異技術的關鍵因素。
