荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾與台積電建立緊密的合作關係,如今在地緣政治壓力下,兩大巨頭處境極為類似。人才是創新的關鍵,由於許多國家追求自給自足一條龍模式,面臨嚴重的人才荒,假設三大主要國家朝向一條龍情況下,人才短缺規模將增為15倍,各國若要自行籌備半導體人才,幾乎是不可能的任務。
當年協助艾司摩爾打敗競爭對手的關鍵人物、清華大學半導體研究學院院長、台積電前研發副總經理林本堅接受《風傳媒》專訪時表示,「地緣政治緊張使得許多國家追求自給自足一條龍模式,如此將使得成本上揚、獲利下降,人才短缺問題更加嚴重。」
林本堅為美國國家工程院院士、中研院院士,曾於IBM工作22年,2000年加入台積電,2002年研發出193奈米浸潤式微影技術,讓台積電在55奈米之後跳躍成長六個技術世代,成為世界領先者,改變了半導體產業的發展方向,被譽為「浸潤式微影之父」,今年4月獲頒總統創新獎。
研發浸潤式微影技術 幫助艾司摩爾打敗競爭對手
當年林本堅研發193奈米浸潤式微影技術,在業界造成轟動,這項技術為艾司摩爾帶來大利多,繼續保持領先日本競爭對手。
其實,全球當時的研發方向都朝向157奈米,整體投資額遠超過10億美元,可以想像,當時要說服曝光機台的廠商研發並量產浸潤式機台,困難重重。後來這些曝光機台廠商如何改變策略?
林本堅透露當年的秘辛,他曾向兩家半導體設備廠商遊說,希望朝向浸潤式微影技術發展,但兩家廠商最初都拒絕,後來日本尼康先同意,接著艾司摩爾改變立場,終於答應,於是開啟了半導體浸潤式微影的時代。
浸潤式微影技術所使用的光源是深紫外光(DUV)。當時,林本堅並不看好極紫外光(EUV)微影技術,認為這很難做出來,不僅燒錢且浪費時間。沒想到艾司摩爾後來成功研發出極紫外光(EUV)微影設備,獨霸全球。林本堅說,「的確很厲害。」
為何艾司摩爾能夠成功研發出極紫外光(EUV)微影技術?林本堅直言,「關鍵人物是艾司摩爾前總裁暨科技長布林克(Martin van den Brink),他非常有領導力和願景,有決心、眼光,把錢和研發放在對的地方。」
布林克是艾司摩爾創立時元老級人物。為了研發EUV曝光機,布林克砸了16億美元,把美國一家半導體設備公司SVG買下來,接著,由於光源方面一直沒有突破,於是又買下另一家美國公司Cymer,同時派數百位工程師進駐研發。由於布林克的決心、眼光且把錢和研發放在對的地方,最後艾司摩爾終於成功做出地表上最複雜的機器—極紫外光(EUV)曝光機。